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科创板受理企业透析|中微半导体:7纳米芯片刻蚀机第一梯队ag娱乐平台

来源:http://teplogrx.cn 责任编辑:ag88环亚娱乐 2019-04-08 11:22

3月29日,又有9家公司的科创板上市申请获上海证券交易所受理,中微半导体设备(上海)股份有限公司在列。

中微半导体生产的是制造芯片的关键设备——刻蚀机。由于西方国家对刻蚀机产品出口中国进行管制,一些最先进的刻蚀机无法一时间出口到中国。

中微公司是我国半导体设备企业中,极少数能与全球顶尖设备公司直接竞争并不断扩大市场占有率的公司,是国际半导体设备产业界公认的后起之秀。公司的刻蚀机目前已经成功打入国际一线客户市场,而且在全球最先进的可量产的7纳米芯片工艺上,中微半导体是全球五大刻蚀机供应商之一。

中微半导体联合创始人倪图强曾表示,中微已位居国际一梯队,通过台积电验证的5纳米刻蚀机,预计能获得比7纳米更大的市场份额。

根据招股书,中微半导体拟发行53,486,224股,募资10亿元,将募集资金用于可以巩固和加强公司行业地位的项目,包括高端半导体设备扩产升级项目、技术研发中心建设升级项目和补充流动资金。

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7纳米芯片工艺全球五大刻蚀设备供应商之一

中微半导体主要从事高端半导体设备的研发、生产和销售。自成立以来,公司主要业务是开发加工微观器件的大型真空工艺设备,包括等离子体刻蚀设备和薄膜沉积设备。等离子体刻蚀设备、薄膜沉积设备与光刻机是制造集成电路、LED 芯片等微观器件的最关键设备。

自2004年成立伊始,中微首先开发甚高频去耦合等离子体刻蚀设备Primo D-RIE,到目前为止已成功开发了双反应台 Primo D-RIE、双反应台 PrimoAD-RIE 和单反应台 Primo SSC AD-RIE三代刻蚀设备,涵盖65纳米、45纳米、 32纳米、28纳米、22纳米、14纳米、7纳米和5纳米微观器件的众多刻蚀应用。

截至2018年末,中微半导体累计已有1100 多个反应台服务于国内外40余条先进芯片生产线。

公开资料显示:在全球可量产的最先进晶圆制造7纳米生产线上,中微半导体是被验证合格、实现销售的全球五大刻蚀设备供应商之一,另外四家企业是来自美日的泛林、应用材料、东京电子、日立。

2018年12月,中微半导体自主研制的5纳米等离子体刻蚀机经台积电验证,性能优良,将用于全球首条5纳米制程生产线。5纳米是集成电路制程工艺最小线宽。台积电宣布,2019年将进行5纳米制程试产、预计2020年量产。

中微半导体联合创始人倪图强曾表示,中微与泛林、应用材料、东京电子、日立4家美日企业,组成了国际第一梯队,为7纳米芯片生产线供应刻蚀机,如今通过台积电验证的5纳米刻蚀机,预计能获得比7纳米更大的市场份额。

西南证券的报告称,中微半导体的芯片介质刻蚀设备已打入全球顶级企业台积电的7纳米、10纳米量产线,并占据了中芯国际50%以上的新增采购额。截至2017年底,已经有620多个中微生产的刻蚀反应台运行在海内外39条先进生产线上,高质量地加工了5500多万片12英寸晶圆。

西南证券报告称,中微半导体的介质刻蚀已经占到40纳米到28纳米的国内市场40%以上。中微半导体硅通孔刻蚀设备占有约50%的国内市场,而且已经进入了新加坡、日本和欧洲市场。中微第二代Primo A7设备已在国内全面取代德国Aixtron和美国Veeco的设备。同时A7已在中国、日本、韩国和美国等国家申请专利155项。

不过,在全球刻蚀机市场,中微半导体的份额依然有限。

有统计显示,2017年,全球刻蚀设备市场份额的三巨头依然是泛林半导体、东京电子和应用材料,其他厂家份额极低。

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40多位半导体设备专家创办

中微半导体设备(上海)有限公司成立于2004年5月31日,由尹志尧与杜志游、倪图强、麦仕义等40多位半导体设备专家创办。

自2004年中微公司成立以来,尹志尧一直担任董事长兼首席执行官。

中微半导体官网介绍,尹志尧在中国科学技术大学获得了物理化学学士学位,随后在北京大学化学学院完成了硕士学习。他还获得了加州大学洛杉矶分校的物理化学博士学位。尹志尧曾作为研究组组长就职于中科院。目前,他共有74项已授权的美国专利。

尹志尧1984年第一次到硅谷,并加入了英特尔技术发展中心。1986年,他加入了Lam Research并引领了刻蚀技术的发展,同时为一些关键产品带来了解决方案。

成立中微之前,尹志尧曾在应用材料公司任职13年,曾担任公司副总裁、等离子体刻蚀设备产品事业群总经理、亚洲区采购副总裁、应用材料亚洲首席技术官等。

中微半导体的其他联合创始人、核心技术人员和重要的技术、工程人员,包括杜志游、倪图强、麦仕义、杨伟、李天笑等160多位各专业领域的专家,其中很多是在国际半导体设备产业耕耘数十年,为行业发展做出杰出贡献的资深技术和管理专家。

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无实际控制人

从股权结构上看,中微半导体无实际控制人。

本次发行前,中微半导体持股5%以上股东包括上海创投(20.02%)、巽鑫投资(19.39%)、南昌智微(6.37%)、置都投资(5.48%)、中微亚洲(5.15%)等。

其中,上海创投成立于 1999年8月6日,注册资本 11.3亿元。上海创投是上海科技创业投资(集团)有限公司100%控股子公司,实际控制人为上海市国资委。

巽鑫投资成立于2014 年12 月15日,注册资本 117亿元。巽鑫投资是产业投资基金100%控股子公司。

南昌智微为公司境内员工持股平台,中微亚洲目前是公司外籍员工持股平台。

其他股东中,尹志尧直接持股1.29%(发行后占股1.16%);美国高通持股1.14%(发行后占股1.16%1.03%)

截至招股说明书签署日,中微半导体共有境外法人股东6名,境内法人股东20名,自然人股东8名,其中持有发行人5%以上(含) 股份或表决权的股东,包括上海创投、巽鑫投资、南昌智微、置都投资、中微亚洲、Grenade、Bootes、Futago、悦橙投资、创橙投资、 亮橙投资和橙色海岸。

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三只影子股

A股上市公司中原高速(600020)、四川双马(000935)、可立克(002782)等间接参股了中微半导体。
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